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真空鍍膜機（鍍膜機）的主要構造
根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不
此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成
排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機
排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。
機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使
機械泵有很多種，第用的有滑閥式（此主要應用于大型設備）、活塞往復式、定片式和旋片式（此目前應用最廣泛，本文主要介紹）四種類
機械泵常常被用來抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體，機械泵一般被用來抽除永久性的氣體，但是對水氣沒
有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等，轉子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個內切圓，
轉子看內裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈黃，保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。
它的兩個彈片交替起著兩方面的作用，一方面從進氣口吸進氣體，另一方面壓縮已經吸進的氣體，將氣體排出泵外。轉子每旋轉一周，泵完成
兩次吸氣和兩次排氣。當泵連續順時針轉動時，旋片泵不斷的通過進氣口吸入氣體，又從排氣口不斷的排出泵外，實現對容器抽氣的目的。為
了提高泵的極限真空度，均將泵的定子浸在油里面這樣，在各處的間隙中及有害空間里面經常保持足夠的油，把空隙填滿，所以油一方面起到
了潤滑作用，另一方面又起了密封和墻塞縫演及有害空間的作用，防止氣體分子通過各種渠道反流到壓強低的空間去。
機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數有極限真空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到
1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。
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